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导读:6月15日据彭博社消息,全球最大半导体设备制造商美国应用材料 (AMAT)正在起诉一家中资竞争对手,称其耗时14个月窃取了其高价值机密。
图:应用材料(AMAT)
据报道,AMAT指控国内知名半导体设备制造商屹唐股份位于美国加州的子公司MTI,称其精心策划通过员工挖角和转移半导体设备设计等方式“窃取商业机密”,涉及用于制造先进芯片的新型CVD(化学气相沉积)设备。
AMAT在2022年曾指控称,MTI在短短一年多的时间里雇佣了17名来自AMAT的高级工程师,其中包括一名高级部门经理和研究人员,他们合作多年并知晓芯片制造工艺和公司技术路线图等敏感信息,并为MTI提供了相关机密文件,“这些文件中有许多是高度敏感的、技术性的,并且包含AMAT的商业秘密和专有技术。”
图:屹唐股份主要产品
MTI发言人对此回应称,AMAT的指控和索赔毫无根据,该案件此前已经经过了激烈的法庭程序,但没有出现任何证据,而且将来也不会出现,因为这些指控是错误的。
根据美国市场分析公司Gartner的数据,2020年屹唐股份干法去胶设备、快速热处理设备的市场占有率分别位居全球第一、第二,堪称半导体设备细分领域的龙头。
屹唐股份的主要经营主体为美国半导体设备厂商Mattson Technology Inc.(MTI)。MTI原为美国纳斯达克证券交易所上市公司,2016年屹唐股份完成其私有化收购,MTI从美股退市。
在收购MTI后,多名有AMAT任职背景的核心技术人员继续留任,由国资实控的屹唐股份与MTI实施知识产权共享,促进了母、子公司知识产权与核心技术的内部整合。截至2021年5月31日,屹唐股份与MTI共同拥有27项境内已授权发明专利和275项境外已授权发明专利,合计拥有309项已授权专利。
图:用于65nm-5nm的干法刻蚀设备
根据屹唐股份2021年发布的招股书,屹唐股份的干法去胶设备、快速热处理设备可用于90nm到5nm逻辑芯片、10nm系列DRAM芯片以及32层到128层3D闪存芯片;其干法刻蚀设备主要可用于65nm到5nm逻辑芯片、10nm系列DRAM芯片以及32层到128层3D闪存芯片制造。
在国内去胶设备市场上,屹唐股份也处于市场领先地位。
据中国国际招标网公开数据统计,2020年,长江存储通过招投标方式采购的27台去胶设备中,24台由屹唐股份提供,所占份额达88.89%;华虹集团通过招投标方式采购的11台去胶设备中,10台由屹唐股份提供,占比达90.91%。
此外,AMAT本次同时起诉了一群帮助MTI “盗用”其商业秘密的不知名个人或公司。AMAT在诉状中表示,其调查仍在进行中。
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